化学反応を利用した原子オーダ・ナノ精度表面創成法の開発
- 大学院先端科学研究部 (工学系) マルチスケールプロセス分野
研究内容
提供できる技術
ダイヤモンド製工具の刃先先鋭化／超硬合金製工具の刃先鋭利化／研削砥石のドレッシング/ツルーイング／電着砥石の切れ刃トランケーション／ダイヤモンド基板の表面平坦化／SiC/GaN半導体基板の表面平坦化／ガラス，セラミックスの超精密研磨
特許
特許第5343250号／特許第5315573号／特許第4982742号／特許第4873694号，他
キーワード
- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
- 6
- 7
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- 13
- 14
- 15
- 16
- 17