SiC-MOSFETを用いた高電圧パルス回路の低損失化とエネルギー回生
- 産業ナノマテリアル研究所 電気パルスプロセス分野
研究内容
応用分野等
半導体リソグラフィー用エキシマレーザ／液晶アニール用レーザ／医療用エキシマレーザ／パルスプラズマ発生装置／パルスパワーを用いた水処理装置／パルスプラズマを用いたラジカル生成／プラズマ衝撃波を用いた金属剥離（光ディスクリサイクル）
特許
スナバレスターンオフサージ抑制回路、エネルギー回収方法及びプログラム 特願2019-115930
キーワード
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