● 酸化物半導体のデバイス応用（ LED、太陽電池、パワートランジスタ）
最近、酸化物半導体の研究が盛んになっています。酸化亜鉛（ZnO）では、発光ダイオード（LED）が期待されており、下記のミスト化学気相成長法（ミストCVD法）を用いますと、現行の窒化物LEDと同等の性能を有した、極めて低コストの酸化物LED（Fig.1）を形成できる可能性が有ります。既に、２インチ基板上に均一な膜厚を有する単結晶ZnO薄膜を形成することに成功しており、現在は、良好なｐｎ接合の形成を目指して研究しています。

● ミストCVD装置の開発（高速回転式ミストCVD装置など）
ミストCVD法は、水溶液などを原料として、超音波でミストを発生させ、加熱した基板上にミストを供給するだけの簡易な構造で、大気圧で結晶成長が可能なため、極めて低コストな薄膜形成法です。原料を液体に溶かすことができれば、様々な酸化物を形成する事が可能です。最近、我々は、独自に高速回転式ミストCVD装置（Fig. 2）を企業と共に開発し、２インチ基板上に均一な膜厚を有する単結晶ZnO薄膜を形成することに成功しています。