固体内元素の極低濃度マッピング-ダイナミックSIMS-
- 大学院先端科学研究部 (工学系) 機能材料設計学分野
研究内容
提供できる技術
・二次イオン質量分析装置(D-SIMS)[7f-Auto]、同機種は国内大学で本学に1台のみ：本展示対象／・段差計[DektakXT] 検出段差下限1Å、走査範囲 : <5 mm／・真空蒸着装置[VPC-260F] Wより低融点の金属コーティング、膜厚範囲 : 50～400 nm、実績 : Cr、Ni、Cu、Sn、Au／・プロービングSEM[TCK製] 探針 : 2 µm/15 µm、実績 : MEMS基板、めっき膜／・リソグラフィ装置[TCK製] デザイン分解能 : 1 µm/10 µm、実績 : 5 µmギャップ50本櫛形電極
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