熊本大学新棟「ＳＯＩＬ」オープンラボ入居第一号 開所式典
令和７年１０月１日に熊本大学にオープンラボ施設として新設された「SOIL」棟に、本学半導体・デジタル研究教育機構の百瀬健教授と共同研究を行っている長州産業株式会社が第一号として入居されたことに伴い、令和７年１０月１７日に「長州半導体製造装置開発センター（CSD）」の開所式典を開催しました。
センターは2027年度までの3年間で、SCFD（超臨界流体薄膜堆積法）による半導体デバイス製造装置の自動化実現に向けた要素技術を百瀬教授の技術をベースとして共同研究にて開発していきます。その後、この開発成果を活用してSCFD量産装置のプロト機を開発、各要素技術をブラッシュアップしていくことにより量産機を制作し、事業化を目指していきます。
詳細はこちら